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導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的主要指標(biāo)分享
更新時(shí)間:2018-10-27 點(diǎn)擊次數(shù):2503
   導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測(cè)量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測(cè)量金屬薄層電阻,經(jīng)過(guò)對(duì)用戶、半導(dǎo)體廠測(cè)試的調(diào)查,根據(jù)美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破,半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測(cè)方面對(duì)中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測(cè)量需要,成為普及型的電阻率測(cè)試儀,具有測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。

  導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的主要指標(biāo)如下:

  1.測(cè)量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴(kuò)展到105Ω-cm

  方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴(kuò)展到106Ω/□

  薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω

  2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長(zhǎng)度:150mm(可擴(kuò)展500mm)

  3.測(cè)量方式:軸向、斷面均可

  4.數(shù)字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V

  (2)測(cè)量誤差:±0.3%讀數(shù)±1字

  (3)輸入阻抗:大于108Ω

  (4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示

  0---1999具有極性、過(guò)載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示

  5. 恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能

  (1)直流電流:0—100mA連續(xù)可調(diào)

  (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

  (3)分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

  (4)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字

  6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM指標(biāo)

  7 .測(cè)試探頭:(1)探針機(jī)械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指標(biāo)

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