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四探針測試儀為提高薄膜電阻和體電阻率測量準確度創造了有利條件
更新時間:2021-05-07 點擊次數:1068
  四探針測試儀采用四探針雙電測量方法,適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導體材料和半導體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能。
  四探針測試儀的測量原理
  測量電阻率的方法很多,如三探針法、電容-電壓法、擴展電阻法等,四探針法則是一種廣泛采用的標準準法,儀器采用經典直排四探針原理,同時采用了雙電測組合四探針法。
  經典的直排四探針法測試電阻率,要求使用等間距的探針,如果針間距離不等或探針有游移,就會造成實驗差。當被測片較小或在大片邊緣附近測量時,要求計入電場畸變的影響進行邊界修正。
  采用雙電測組合四探針的出現,為提高薄膜電阻和體電阻率測量準確度創造了有利條件。
  四探針測試儀采用雙電測組合四探針法的優勢
  采用雙電測組合四探針法進行測試,測試結果與探針間距無關,能夠消除間距不等及針尖機械游移變化的影響,因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭。
  采用雙電測組合四探針法具有自動修正邊界效應的功能,對小尺寸被側片或探針在較大樣品邊緣附近時,不需要對樣品做幾何測量,也不需要尋找修正因子。
  采用雙電測組合四探針法,不移動四探針針頭,同時使用三種模式測量,既可計算得到測試部位的電阻均勻性。
  那么四探針測試儀采用雙電測組合四探針法有哪些優勢呢?
  1、采用雙電測組合四探針法進行測試,測試結果與探針間距無關,能夠消除間距不等及針尖機械游移變化的影響,因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭。
  2、采用雙電測組合四探針法具有自動修正邊界效應的功能,對小尺寸被測片或探針在較大樣品邊緣附近時,不需要對樣品做幾何測量,也不必尋找修正因子。
  3、采用雙電測組合四探針法,不移動四探針針頭,同時使用三種模式測量,即可計算得到測試部位的電阻均勻性。

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