表面體積電阻率測試儀既可測量高電阻，又可測微電流。采用了新型集成電路以及我單位的技術(shù)。測量精度達到3‰。同時儀器體積小、重量輕、本儀器具有精度高、顯示迅速、性好穩(wěn)定、讀數(shù)方便等優(yōu)點。
表面體積電阻率測試儀的工作原理：
根據(jù)歐姆定律，被測電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I。傳統(tǒng)的高阻計的工作原理是測量電壓V固定，通過測量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值。從歐姆定律可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無窮大時，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個刻度是非線性的。又由于測量不同的電阻時，其電壓V也會有些變化，所以普通的高阻計是精度差、分辨率低。
本儀器是同時測出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I，通過內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計算，然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值，即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計那樣因被測電壓V的變化或電流Ｉ的變而變，所以，即使測量電壓、被測量電阻、電源電壓等發(fā)生變化對其結(jié)果影響不大，其測量精度很高(0)，從理論上講其誤差可以做到零，而實際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。
為什么在測量同一物體時用不同的電阻量程有不同的讀數(shù)？
這是因為：在使用電阻率測試儀時為防止過電壓損壞儀器，如果出現(xiàn)過量程時儀器內(nèi)保護電路開始工作，將測試電壓降下來以保護機內(nèi)放大器。在不同的電壓下測量同一物體會 有不同的結(jié)果。而且當(dāng)測量電阻時若讀數(shù)小于199，既只為三位數(shù)且*位數(shù)為1 時，其準(zhǔn)確度要下降。所以在使用電阻率測試儀時當(dāng)*次讀數(shù)從1 變?yōu)槟骋蛔x數(shù)時，不應(yīng) 再往更高的量程扭開關(guān)以防對儀器造成過大的電流沖擊。在實際使用時，即讀數(shù)位 數(shù)多的比讀數(shù)位數(shù)少的準(zhǔn)確度高。
