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采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫試驗箱結合配置的高溫測試探針治具，滿足半導體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求，通過先進的測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導率數據的變化曲線，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。
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